抗蚀溶液以及使用其制作薄膜图案和液晶显示器件的方法

Abstract

本发明公开了一种制作薄膜图案的方法,其能够提高橡皮布的寿命、减少成本并提高形成薄膜图案的可靠性。所述方法包括将抗蚀溶液注入到印刷辊上的橡皮布中,其中所述抗蚀溶液包括印刷溶剂,所述印刷溶剂满足条件6>δ溶剂或δ溶剂>11,其中δ溶剂是所述溶剂的溶解参数,或满足条件6<δ溶剂<11并且μ<2(D),其中μ为所述溶剂的偶极矩;旋转所述印刷辊以将所述抗蚀溶液均匀涂覆在所述橡皮布上;在印版上滚动涂覆有所述抗蚀溶液的印刷辊以将对所述抗蚀溶液构图,由此形成抗蚀图案;将所述抗蚀图案从所述印刷辊转印至基板;硬化所述抗蚀图案;并且使用所述抗蚀图案在所述基板上形成所需薄膜图案。

Claims

Description

Topics

    Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

    Patent Citations (7)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      CN-1629699-AJune 22, 2005Lg.菲利浦Lcd株式会社Method for fabricating color filter array substrate
      CN-1815366-AAugust 09, 2006三星电子株式会社, 株式会社三养EmsPhotoresist composition, method for forming film pattern using the same, and method for manufacturing thin film transistor array panel using the same
      US-5264284-ANovember 23, 1993Kabushiki Kaisha Kaisui Kagaku KenkyujoFibrous composite metal hydroxide and process for the production thereof
      US-5340888-AAugust 23, 1994Borden Inc.Phenolic resin composition
      US-6133335-AOctober 17, 20003M Innovative Properties CompanyPhoto-polymerizable compositions and articles made therefrom
      US-6723491-B2April 20, 2004Kba (Advanced Imaging Technology) (Israel) LimitedUtilizing UV to form and decompose a printing member
      US-6790586-B2September 14, 2004Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Central Glass Co., Ltd.Resist compositions and patterning process

    NO-Patent Citations (2)

      Title
      钮淦襄.以溶解度参数图评定聚氯乙烯耐有机溶剂性能.《中国腐蚀与防护学报》.1991,第11卷(第3期),271-278.
      陶婉蓉等.合成树脂的溶解度参数与其玻璃纤维增强塑料耐有机溶剂腐蚀性的关系.《中国腐蚀与防护学报》.1984,第4卷(第4期),295-301.

    Cited By (0)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle